铁电存储器疲劳特性研究
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
该数据集为铁电存储器件疲劳特性研究，具体包括了：
先进工艺铁电薄膜器件的疲劳特性电学研究，研究首次提出通过施加高电压脉冲中和界面带电缺陷，使器件性能恢复，打破低电场下耐久性不足的瓶颈。通过恢复方法，将HZO的耐久性从常规的10^8次循环提升几个数量级。且在超低工作电压下，仍保持非易失性存储特性，满足严苛要求。
该数据集记录了铁电薄膜器件疲劳特性中的基本特性介绍、薄膜结构表征、循环疲劳的写入波形、疲劳过程的测试波形以及相应的测试结果性能等数据。
提供机构：
中国科学院微电子研究所
