微磨削-激光精密复合加工轨迹高精度匹配数据集

该数据集主要包括：切割路径图像在线校正实验图像数据；测试划痕与预留切割道的高倍清晰图像特征数据；划痕与轨迹图像特征提取算法示意图和算法鉴定报告数据。以上数据用于SiC外延片双焦点激光内部改质切割装备研制。