表压传感器数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
针对高精度硅压阻式表压传感器研究，为验证表压传感器的各项指标满足任务书考核要求，由课题参与单位中国科学院微电子研究所、第三方测试机构重庆科技检测中心和重庆市科学技术研究院按照JJG 860、GB/T 2423.22等标准规范完成表压传感器数据的采集，主要记录了表压传感器的量程、非线性误差、迟滞、重复性、满量程输出和工作温度等性能指标数据，以及表压传感器形貌测量数据，数据量165MB。
提供机构：
重庆川仪自动化股份有限公司
