跨尺度微纳结构加工基础理论及方法数据集

2016YFA0200501-001跨尺度微纳结构加工基础理论及方法数据集主要面向飞秒激光多光子曝光、飞秒激光DMD面投影曝光的基础理论研究，超衍射纳米结构形成的内在机理及控制条件需求，为超衍射微纳结构的精确制备提供理论及技术参考。数据集中获得的跨尺度微纳结构加工基础理论及方法、复合光场曝光机理主要通过对大量重复性实验结果的分析、总结获得。数据集主要记录了多光子吸收基础理论；多光子吸收中的非线性动力学过程解析； 复合光场协同曝光机理解析； 跨尺度无掩模光学投影超衍射纳米光刻方法；双光束复合光场直写制备银纳米线方法共5个飞秒激光微纳加工相关的基础理论、实验经验总结、数据分析、机理解析，方法总结等。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于飞秒激光微纳加工的基础理论与方法，主要研究多光子吸收、复合光场曝光机理及跨尺度无掩模光学投影超衍射纳米光刻技术。数据集基于重复性实验分析总结，包含5个方面的理论、经验与机理解析，旨在为超衍射微纳结构的精确制备提供参考。