全自动石英舟装卸片机生产运行数据集

数据来源于晶体硅电池生产线中全自动石英舟装卸片机设备，记录了硅片在石英舟中装卸的连续生产或单片生产工艺过程中涉及的实时和生产数据，数据量55MB。