面板光刻机用多孔陶瓷吸盘结构设计与仿真模拟数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-04-04 收录
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资源简介：
面板光刻机用多孔陶瓷吸盘结构设计与仿真模拟数据集主要面向碳化硅多孔陶瓷吸盘制备及应用研究，基于SMEE面板光刻机中关键部件陶瓷吸盘设计产生，本数据集包含G5和G6面板光刻机用碳化硅多孔陶瓷吸盘组件设计及模拟数据，共包括3个二级文件，其中：(1) 01吸盘设计数据，数据量58.7Mb；(2)02是吸盘示意图，数据量10.9Mb; (3)03是仿真结果及整套装置外观设计示意图。
提供机构：
中国建筑材料科学研究总院有限公司
