面板光刻机用多孔陶瓷吸盘结构设计与仿真模拟数据集

面板光刻机用多孔陶瓷吸盘结构设计与仿真模拟数据集主要面向碳化硅多孔陶瓷吸盘制备及应用研究，基于SMEE面板光刻机中关键部件陶瓷吸盘设计产生，本数据集包含G5和G6面板光刻机用碳化硅多孔陶瓷吸盘组件设计及模拟数据，共包括3个二级文件，其中：(1) 01吸盘设计数据，数据量58.7Mb；(2)02是吸盘示意图，数据量10.9Mb; (3)03是仿真结果及整套装置外观设计示意图。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于面板光刻机用碳化硅多孔陶瓷吸盘的结构设计及仿真模拟，包含G5和G6规格吸盘组件的设计数据、示意图以及仿真结果与整套装置外观示意，共12个文件，数据量约74MB，以jpg、png、x_t和stp格式存储。