CMOS微电极实验的数据集
收藏中国科学院脑科学数据中心2023-10-31 更新2024-03-05 收录
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资源简介：
在高通量神经微电极阵列方面，采用硅基材料，实现了记录点数量超过1000个的神经微电极的制备。利用标准CMOS的设计和流片方法，完成并掌握了将CMOS工艺流片的电极基片通过减薄、应力补偿和图形化制备成薄膜细针形状高通量电极的全套工艺；完成了1024通道硅基神经微电极的制备。
提供机构：
中国科学院脑科学数据中心
创建时间：
2023-10-31
