Si衬底GaN基LED外延片波长均匀性研究数据集

Si衬底GaN基LED外延片波长均匀性研究主要针对中微公司开发的Micro-LED用新型MOCVD设备在晶湛公司开展Micro-LED外延工艺开发，研究新款设备在硅基蓝绿光Micro-LED外延生产过程中波长均匀性的制约要素，开发新型MOCVD设备的外延工艺，获取了较好的实验结果，并实现试生产应用。该数据集主要采集了相关的工艺调试记录、运行及测试记录，相关专利以及测试报告等数据，数据量约为8MB。