基于成套MEMS批量制造标准质量监控系统、工艺参数实时监测系统、晶圆级电性测试数据

本数据包含成套MEMS批量制造标准质量监控系统的监控系统流程图、控制计划、测量系统分析、数据收集；成套MEMS批量制造标准工艺参数实时监测系统的设备参数监控流程图、FDC 管控收集规则；硅基麦克风平台、红外平台、惯性平台三套成套MEMS批量制造标准工艺晶圆级电性测试等内容。类型是文件，共2件。文件1为成套MEMS批量制造标准质量监控系统、工艺参数实时监测系统、晶圆级电性测试的工艺开发报告，采集地点为浙江省绍兴市，采集时间2021年12月至2024年11月。文件2为成套MEMS批量制造标准工艺晶圆级电性测试支撑数据，采集地点为浙江省绍兴市，采集时间2021年12月至2024年11月。数据量3.84MB。