8英寸MEMS传感器加工中试平台晶圆级真空键合核心工艺及表征数据集

晶圆级真空键合可以实现高真空的MEMS封装状态，在惯性、压力、声学、光学等MEMS器件中具有广泛的应用。本数据集含有8英寸MEMS传感器晶圆级真空键合的核心工艺参数，时间范围为2021年–2024年，是在英格尔检测技术服务（上海）有限公司现场监督下，依据测试大纲在上海新微技术研发中心有限公司八寸线洁净室测试所得。采用专业仪器与软件对数据进行测试和处理，最终获得了项目指标要求范围内键合层数与键合前两层对准偏差的相应数据；并通过一系列测试方案，获得了片上真空腔内真空度数据。本数据集为8英寸MEMS传感器晶圆级真空键合的核心工艺参数，为MEMS晶圆级真空键合的制造工艺优化、性能表征等方面有着重要的指导意义。