新结构的3D NAND存储器件数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-12-27 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=694c0e16195d261fbbe14dd2&type=1
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资源简介：
本数据集来源于国家重点研发计划项目“3DNAND闪存未来技术（项目编号：2023YFB4402500）”。该数据集旨在系统研究三维结构器件制备、电学特性及其物理机制，内容涵盖铁电薄膜的材料筛选、三维工艺制备优化、物性分析与可靠性评估等方面。实验数据包括新结构3D NAND存储单元的物相结构分析、存储窗口、耐久性及数据保持能力等关键可靠性指标，并提供了相应的算法优化支持。本数据集可为新结构3D NAND存储器件的性能分析与优化研究提供重要数据支撑。
提供机构：
中国科学院微电子研究所
