Study of DC Magnetron Sputtered Nb Films
收藏中国科学院中国科学技术大学科学数据中心2026-01-10 收录
下载链接：
https://sdc.ustc.edu.cn/dataDetails/E7UaOJYBQwfvTVc54eRq
下载链接
链接失效反馈官方服务：
资源简介：
由于铌薄膜作为约瑟夫森结的超导电极被广泛应用，因此研究铌薄膜的性能对于制备高质量的约瑟夫森结具有重要意义。这项工作对在国家计量研究所（中国）制造的直流磁控溅射铌膜的性能之间的关系进行了全面的分析。研究了薄膜的超导性、应力、晶格常数和表面粗糙度。结果表明，在功率和Ar压力不变的情况下，Nb薄膜的应力和其他参数在目标材料的持续消耗过程中可以保持相对稳定的状态。
提供机构：
中国计量科学研究院
创建时间：
2023-05-24
