X射线准直镜各向异性抛光收敛规律数据

探究抛光过程中的各向异性收敛规律是实现高精度超光滑X射线非球面准直镜的重要过程。利用光的干涉原理来分析表面特征，光学表面轮廓仪采用LED绿光或者白光作为光源，光源经准直后通过分光镜进入显微物镜中，分光棱镜将入射光分为两路干涉光束，一路光束经由参考镜表面反射，另一路光束由被检测样品表面反射，两束相干光重新相遇在探测器上形成干涉条纹强度分布可以推算出待测样品的表面形貌。数据量约为135MB。