双束显微镜任意图形扫描和成像电路开发测试数据

本数据集是为国家重点研发计划项目验收提供依据，以《双束显微镜任意图形扫描和成像电路开发测试大纲》为依据，在上海市计量测试技术研究院对双束图形发生器进行测试，使用数字万用表、示波器和任意波形发生器等测试设备测试了图形发生器的任意图形扫描速率、任意图形扫描输出分辨率、离电子束图形信号采集速率、图形输入方式、DAC扫描信号输出、束闸信号、ADC图像信号和通讯协议，以验证双束显微镜任意图形扫描和成像电路功能性能指标是否满足国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项“ 聚焦离子束/ 电子束双束显微镜” 项目中课题二“双束显微镜任意图形扫描和成像电路开发”的研制要求。