具有随动视觉监控功能的双焦点激光内部改质切割装备的检测数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
直线度、崩边崩角检测数据；设备单道最大激光切割速度数据。以上数据用于支撑项目完成时指标：设备单道最大激光切割速度达到600mm/s、割直线度<8μm，崩边/崩角<15μm；
该数据集用于支撑考核指标2、研制具有随动视觉监控功能的双焦点激光内部改质切割装备，设备单道最大激光切割速度达到600mm/s，最大加工效率相对传统刀轮切割提高3倍（以4寸晶圆为例），切割直线度<8μm，崩边/崩角<15μm。
提供机构：
湖南大学
