微电子所3D垂直集成自选通器件数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
自整流特性的阻变器件是解决交叉串扰的另一种途径，在自整流阻变器件的研究基础上研制了自选通的三维垂直堆叠的阻变器件阵列，制备了4层垂直堆叠阵列结构，记录了研制的流程，器件堆叠结构，以及4个分层中器件的电学特性。
提供机构：
中国科学院微电子研究所
