SiC外延片合金背金层微磨削去除机理数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=674240cf195d262b8b4469d6&type=1
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资源简介：
Ti/Ni/Ag 合金背金层与SiC复合材料微磨削去除模型；微磨削工艺参数对加工质量的影响规律实验数据；不同磨粒大小对微磨削切割质量的影响实验数据；SiC 外延片切槽底部形貌的实验表征图像。以上数据集用于形成SiC复合材料亚微米尺度材料去除机理研究报告，并作为 SiC 外延片机械-激光复合切割技术的开发基础。
提供机构：
湖南大学
