纳米结构构筑
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
资源主要来源于第三方检测机构测试结果。大面积、高均一纳米结构的可控构筑，是实现高性能传感器件批量构筑的前提和保证。为了获得构筑面积>85平方厘米、一致性>95%的纳米敏感结构，课题原创性发展了基于气液界面自组装的高质量单层模板法，并结合选择性刻蚀、溅射沉积、薄膜原位生长等策略，实现多种纳米结构的宏量可控制备。数据类型主要包括PDF,JPEG,MP4等。
提供机构：
中国科学院合肥物质科学研究院
