硅基锗材料检测数据

本数据集面向课题高性能硅基光电探测器芯片的研制，包含扫描电子显微镜（SEM）表面与截面形貌测试，透射电子显微镜（TEM）截面形貌与位错分布测试，高分辨率X射线衍射（HRXRD）测试，原子力显微镜（AFM）表面形貌测试。本数据集文件夹包含3个子文件夹，分别为“1大尺寸低成本高质量的硅基锗薄膜外延工艺”、“2硅上锗材料的选区外延”、“3硅上锗材料的原位掺杂”，分别对应课题三科技报告中材料生长部分的大尺寸硅上锗薄膜外延工艺研究，硅上锗选区外延工艺研究，以及硅上锗薄膜原位掺杂研究三个部分。数据集容量1.79GB。