物理气相输运法制备大尺寸AlN单晶衬底数据集

研究大尺寸AlN的PVT同质生长温度、压强和生长速率的协同关系，分析生长模式对晶面引导规律、缺陷行为、应力分布的作用，发展4英寸AlN籽晶同质PVT迭代生长的质量和形貌优化技术，记录大尺寸AlN的同质迭代生长的模拟仿真数据以及在迭代过程中的表征数据；研究大尺寸AlN单晶衬底加工工艺，实现4英寸AlN单晶衬底制备，收集和记录AlN单晶衬底的尺寸和晶体质量等关键指标数据。