热导真空计

热传导真空计是根据气体分子热传导性能与压力有关的原理制成的真空测量仪器，常用的种类有电阻真空计和热偶真空计，均由规管和电路组成。

热偶真空计是利用热电偶测量压力的一种热传导真空计。它的规管由加热丝和热偶丝组成，在使用时，通一定电流于加热丝，加热丝温度增高，热电偶出现热电动势，它的大小可由毫伏表或电位差计读出。在加热电流保持一定的情况下，加热丝的平衡温度取决于气体压力，因此，热电动势的大小亦取决于气体压力。在已知电动势-压力曲线的条件下，可将毫伏表读数值换算成压力值。

电阻真空计是利用加热中的热丝电阻随压力而变化的一种热导真空计。选用电阻温度系数大的材料如钨丝、镍丝等，制成测量规管。电阻值的变化，用一惠氏电桥来测量，规管热丝充当电桥的一臂，另一个与规管相同，但需预先抽空至10-3Pa下封装的管子作为相邻臂，另两臂则有性能稳定的电阻组成。使用时，由于压力升高，气体将规管热丝热量导走，电阻降低，电桥失去平衡，从而由电流表读取数据。

热偶真空计和电阻真空计测量的是各种气体和蒸汽的总压力，测量结果与气体种类有关，在测量不同种类的气体时，需要按照该气体对氮气的相对灵敏系数进行修正。