PDA材料体系测试数据

本数据集为光电子器件仿真对比数据集，涵盖四种典型器件结构：MMI 1×2分束器、硅基锗光电探测器、SiN-Si层间耦合器及激光器-波导耦合结构。通过自主开发的光子设计自动化（PDA）仿真软件与业界广泛采用的LUMERICAL软件进行对比分析，全面评估了该平台在硅、氮化硅、锗、III-V族等多种材料体系下的仿真精度与可靠性。结果表明，PDA软件的仿真结果与LUMERICAL相比，相对偏差普遍低于2%，部分器件偏差控制在0.5%以内，验证了该软件在光电子器件设计中的有效性与实用性。