氧化铝陶瓷材料性能数据集

本数据集主要基于大行程氧化铝陶瓷导轨材料组分和配方设计对陶瓷性能的调控研究，以制备出高强度、高模量氧化铝陶瓷材料，作为面板光刻机用大行程氧化铝陶瓷导轨研制材料体系选择的依据，为核心陶瓷部件的研制提供高性能基础材料。主要包含氧化铝陶瓷研制过程中，不同配方、不同制备工艺制备的氧化铝陶瓷的体积密度、弯曲强度、弹性模量、维氏硬度、断裂韧性、热膨胀系数、热导率等力学、热学性能等测试数据，数据量为43.4MB，由项目参与单位中国科学院上海硅酸盐研究所和山东硅元新型材料股份有限公司以及委托的第三方测试机构采用分析天平、万能材料试验机、维氏硬度计、扫描电子显微镜、热膨胀分析仪、激光导热仪等仪器设备测量和采集数据，原始图表有Excel、Word、txt、jpg等格式文件组成，后经Origin、Photoshop和Office等软件整理并绘制完成。