8英寸MEMS传感器定制化高厚度干膜核心结构参数数据集

高厚度干膜可以提供可靠的结构支撑，保障MEMS器件机械性能的可靠性，也可作为防护层延长器件使用寿命，在惯性、压力、声学、光学等MEMS器件中具有广泛的应用。本数据集含有8英寸MEMS传感器定制化高厚度干膜的厚度和最小结构深宽比核心结构参数，时间范围为2021年–2024年，是在英格尔检测技术服务（上海）有限公司现场监督下，依据测试大纲在上海新微技术研发中心有限公司八寸线洁净室测试所得。采用专业仪器与软件对数据进行测试和处理，最终获得了项目指标要求范围内干膜厚度和最小结构深宽比。本数据集为8英寸MEMS传感器定制化高厚度干膜核心结构参数，为高厚度干膜的制造工艺优化、性能表征等方面有着重要的指导意义。