Plasma parameters in an Ar-HMDSO DBD at atmospheric pressure for plasma-polymerization experiments

The plasma parameters of a large-area dielectric barrier discharge (DBD) in argon-HMDSO mixtures containing up to about 1600 ppm of the monomer are investigated by means of numerical modelling. A time-dependent, spatially one-dimensional fluid model is applied, taking into account the spatial variation of the discharge plasma between plane-parallel dielectrics covering the electrodes. The dataset contains values of power dissipated in the DBD as well as the space- and period-averaged density and mean energy of the electrons as a function of HMDSO admixture.本研究通过数值模拟方法，对单体最高含量约1600 ppm的氩气-六甲基二硅氧烷（HMDSO）混合气体中的大面积介质阻挡放电（dielectric barrier discharge, DBD）等离子体参数开展探究。本研究采用时变一维空间流体模型，该模型充分考虑了覆盖电极的平行平板介质之间的放电等离子体空间分布变化。本数据集包含介质阻挡放电的耗散功率数据，以及电子的空间及周期平均密度、平均能量随HMDSO掺杂量变化的数值。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集通过数值模拟研究大气压下氩气-HMDSO混合物中的介质阻挡放电（DBD）等离子体参数，用于等离子体聚合实验。它包含DBD功率耗散、电子密度和平均能量随HMDSO添加量（20至1600 ppm）变化的模拟数据，基于一维流体-Poisson模型，适用于材料表面处理和等离子体化学过程分析。