MEMS高可靠性碱金属原子气室漏率测量数据集（2022.06）

课题主要研究内容为：（1）高可靠性MEMS气室设计与制备、（2）极小型MEMS气室的设计与制备、（3）增透膜和抗弛豫镀膜的设计与制备。本课题采用MEMS工艺设计了能够圆片级生产高可靠性芯片级原子气室的方法。气室可靠性通过气室漏率进行量化。利用氦质谱仪对气室的漏率进行了表征，本数据集包括高可靠性MEMS碱金属原子气室测试过程中的原始数据，包括气室的尺寸、漏率等性能参数。