陀螺仪、加速度计、风向风速传感器宏模型提取

陀螺仪、加速度计、风向风速传感器宏模型提取数据集主要面向上述MEMS传感器的宏建模技术开展研究。由于当前阶段的MEMS与IC 协同设计方法还没有成熟，缺乏与集成电路设计工具兼容的MEMS设计工具；极大限制了高性能MEMS 芯片发展；所以开展宏建模技术完成与电路的协同系统级仿真对推进MEMS产业快速发展有重大意义。该数据集主要包含了宏模型提取的过程文件：模态贡献、应变能、电极电容等；还包含了结果文件：上述MEMS器件提取出的宏模型。该宏模型包含系统级宏模型模态10个；以满足课题指标：系统级宏模型提取模态多于8个。数据量为12.7GB。