Si基毫米波滤波器量产标准工艺数据集

本数据集主要面向Si基毫米波滤波器的量产标准工艺研究与量产稳定性验证需求建设，聚焦于光刻工艺中的牺牲层防粘附技术、深孔刻蚀形貌控制、量产流程标准化及版图设计等关键环节，为毫米波频段滤波器的高精度、高一致性量产提供系统的工艺数据支撑，并体现了近年来国内在Si基毫米波滤波器工艺开发与量产转化领域的积累。由课题单位深圳飞骧科技股份有限公司在2022年到2025年采用矢量网络分析仪对滤波器的实际应用性能进行测试；系统记录并整合量产产品的工艺标准化SOP文件；提取Si基毫米波滤波器的量产版图文件数据。其主要包含四大模块：一是标准工艺研究数据，涵盖光刻工艺数据（含牺牲层防粘附技术数据图表、防粘附模型仿真与工艺结果对比图、试制光刻外形原始模型数据、防黏附替代模型仿真原始数据）、深孔刻蚀工艺数据（含TiCu界面、侧壁光滑度、驻波效应及种子层溅射深度的SEM表征图），以及实测系统设备照片与测试过程视频；二是量产稳定性研究数据，包括工艺标准化SOP文件及量产版图文件（含HOLE层版图、波导层版图PDF及原始GDS文件）；三是相关专利；四是第三方检测报告、性能测试大纲。数据体量 2.23GB。