InGaN基蓝绿光Micro-LED外延片表面颗粒或缺陷的形成机制研究数据集

InGaN基蓝绿光Micro-LED外延片表面颗粒或缺陷的形成机制研究主要针对Micro-LED应用低缺陷密度的需求，研究不同类型颗粒或缺陷对InGaN基蓝绿光Micro-LED光电性能的影响，并在新型MOCVD设备样机上开展外延片表面颗粒或缺陷的形成机制探究，获取了较好的实验结果，为项目的生产验证提供了较好的研究基础。该数据集主要采集了相关实验工艺运行记录，颗粒测试的结果、相关测试报告等数据，数据量约为20.1MB。