MZ调制器数据集

本数据集汇集了用于InP基MZ调制器的工艺制备、版图设计以及测试产生的相关数据。主要包括InP调制器芯片的工艺流程示意、版图设计、工艺制备过程和调制器性能测试等数据。数据集包含多类数据，其中工艺流程为示意图，采用visio绘制；工艺过程照片采用扫描电子显微镜（SEM）或者光学显微镜拍摄；调制器测试数据采用常规测试方法测试得到，其中半波电压采用三角波法，带宽采用扫频法。