紫外光电探测研究数据集

项目关于紫外光电探测数据的汇总，主要内容为通过有机化学气相沉积法制备了高质量GaN薄膜，结合不同的方法如热氧化，磁控溅射，等离子刻蚀等生长和加工工艺，制备出不同类型紫外光探测器件，以满足不同的应用场景。数据以论文、专利的形式发表，可以为本领域的科研人员提供重要的参考。