硅基铌酸锂薄膜调制器芯片测试方法及数据

旨在优化铌酸锂薄膜上波导、高速调制电极的设计及加工制作工艺；优化铌酸锂薄膜波导与硅基波导耦合点加工制作工艺；提出高效率、高分辨、多维度的芯片测试方法，实现对硅基混合集成调制器芯片的精准测试。数据基于硅基铌酸锂薄膜调制器芯片产生，主要记录铌酸锂调制器调制带宽等数据。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集提供了硅基铌酸锂薄膜调制器芯片的测试方法及相关数据，旨在优化波导、电极设计和加工工艺，并实现高精度测试。数据主要记录调制带宽等关键参数，支持硅基混合集成调制器芯片的研发与应用。