基于单晶硅材料的各向异性及压阻特性，进行岛膜层压芯片的物理建模与力学仿真，通过条件受力膜片厚度、结构参数、受力大小、边界约束条件等，获得传感芯片的变形、应力、应变变化等的云图形式的过程数据；传感器关键工艺及核心参数通过传感器制造过程中的开展的专项正交实验、工艺文档、流片工艺记录等获取；传感器的基础测试数据，参照《JJG860-2015压力传感器（静态）》要求，在实验室通过在-40，25，80，12

国家基础学科公共科学数据中心110

Subjects9_10

力学生物学

力传感器

Raw pressure data from subjects 9 and 10 collected from 5 different speeds for 5 minutes per speed.

DataONE2016-08-12 更新80

压力变送器第三方测试数据集

力传感器

性能测试

微型高精度压力传感器是为了实现液压系统中液压油的压力实时检测，本数据集是陕西省计量科学研究院对压力变送器的测试数据，测温范围为0~5MPa，测量结果包括示值误差、回差、静压误差、绝缘电阻、绝缘强度、检定结论，检测结果0.1%FS，达到指标要求。数据量为11KB。

国家基础学科公共科学数据中心460

压力敏感元件第三方检测报告数据