基于触碰响应的新型可逆黏附层设计

传统蓝膜在刺晶后力学性质及形貌会发生明显改变，会对相邻芯片的位置造成影响。针对这一问题，通过软桥连接相邻微柱构建了一种新型黏附层材料。该黏附层材料表现出极强的黏附性能。由于其具有柱状阵列结构，芯片剥离过程对周边芯片的位姿影响会大幅降低。这种新型黏附材料的结构设计和制造方法可以扩展到其他材料组合。这种结构黏附力稳定，500次的黏附和脱附过程不会使其性能下降，为新型蓝膜的开发提供了很好的原始模型。
同时提出了一种具有应力释放特性的乳突结构，并研究了对蓝膜在扩晶前后的力学性能进行了表征。乳突结构在剥离过程中具有应力释放的特性，从而有效避免应力累积在尖端对蓝膜力学性能的破坏，实现无损剥离。且这种结构机械性能稳定，8000次剥离过程后没有产生明显的影响，为无损剥离机理提供了良好的理论模型。