晶圆轴向原始数据

晶圆轴向，亦称为晶圆切向。薄膜铌酸锂光器件，一般使用X切向为主，Z切向少量，因此8大尺寸X切铌酸锂单晶制备的品质和良率是本项目的研究重点之一。本项目大尺寸铌酸锂单晶采用提拉法生长，X切\Y切、Z切LN单晶分别使用X切优质晶条、Z切优质晶条做籽晶、Y切优质晶条做籽晶。本数据集包括X切、Z切、Y切单晶生长参数及生长结果统计。针对不同轴向晶体生长采用不同的生长工艺参数，解决了X、Y轴切向生长扩肩过程容易多晶现象，对薄膜铌酸锂产业化提供了原材料保证。