高灵敏MEMS三维电场敏感芯片关键技术

高灵敏三维电场传感器在气象、电力、航空航天、石油化工等诸多领域有广泛应用，开展高灵敏MEMS三维电场敏感芯片关键技术突破有助于促进上述领域静电探测与防护技术的升级和进步。本数据集收集了2021年11月至2024年10月期间开展MEMS三维电场敏感芯片关键技术研究产生的数据。数据包括形成的设计图、仿真图、实物图等过程文件；研究形成的论文、专利等成果文件；以及相关技术考核指标所取得的第三方测试报告；本数据集数据量为58.87MB。本数据集为研究新型MEMS电场传感器提供了数据基础和支持，具有重要的学术和应用价值。