飞行时间二次离子质谱仪
收藏中国科技资源共享网2026-06-04 更新2026-02-07 收录
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https://escience.org.cn/metadata/detail?cstrId=CSTR:16666.11.nbsdc.xzbsvrfq&id=2ce818534b401c7fa2f2b28d816e5c73:CSTR:16666.11.nbsdc.xzbsvrfq
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资源简介：
本数据集收集的是薄膜的飞行时间二次离子质谱（SIMS），共有5项。通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子因不同的质量而飞行到探测器的时间不同，从而测定离子质量，灵敏度极高，可以分辨薄膜的空间元素组成。
提供机构：
国家基础学科公共科学数据中心
创建时间：
2023-10-08
