纳米铁电围栅器件的制备工艺数据

该数据集主要面向纳米铁电围栅器件制备与特性研究，基于中国科学院微电子研究所和南京泛铨电子科技有限公司的电学测试平台、扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜和能量色散X射线光谱仪等产生，主要记录了2023年3月至2024年11月期间的研究结果，包括器件版图、制备工艺、器件结构、电学特性和相关成果5个文件夹，数据总量576MB。 主要内容包括纳米铁电围栅器件的版图，纳米铁电围栅器件的制备工艺设计与关键工艺开发，制备的纳米铁电围栅器件结构与元素分布，以及与研究内容相关的2篇论文与1项专利。