六维测量装置及方法

一种一维光栅位移测量装置，其特征在于，包括：激光装置、偏振分光棱镜、第一折光装置、衍射光栅、第二折光装置、探测器装置；所述探测器装置位于所述偏振分光棱镜的第一侧面处；所述激光装置固定在所述偏振分光棱镜的第二侧面处；所述第一折光装置和第二折光装置固定在所述偏振分光棱镜的第四侧面和第三侧面处；所述激光装置用于发出两束相同正交线偏振光束，所述两束线偏振光束垂直入射至偏振分光棱镜中，被偏振分光棱镜分为互相垂直的第一光束和第二光束、互相垂直的第三光束和第四光束；所述第一光束和第三光束经过所述第一折光装置的折射后以Littrow角度入射至所述衍射光栅中分别得到+1级衍射光束和-1级衍射光束，所述+1级衍射光束和-1级衍射光束再次经过所述第一折光装置的折射和所述偏振分光棱镜的反射后进入所述探测器装置中；所述第二光束和第四光束经过所述第二折光装置的两次反射和所述偏振分光棱镜的透射后进入所述探测器装置中；在所述探测器装置中，所述+1级衍射光束与第二光束发生干涉形成第一路干涉信号，所述-1级衍射光束与所述第四光束发生干涉形成第二路干涉信号；所述探测器装置用于对上述两路干涉信号进行处理，实现单次衍射的两倍细分二维位移测量。