8位超导CPU芯片制备工艺参数、PCM测试数据

基于PCM芯片持续监控各工序的参数，进行工艺稳定和良率提升攻关，改善集成工艺。对整个制备流程中的工艺步骤进行了全流程分析，微调了长膜、光刻、刻蚀、清洗、预清洗等各项工艺参数。稳定了超导大规模集成电路工艺，大幅提高了工艺良率。在优化工艺基础上，实测验证系列超导通用单元电路，全面实测验证工艺配套的8位CPU所需超导数字单元库单元逻辑功能。在此基础上，成功设计、制备、测试了国内首个超导CPU芯片。所设计所有指令全部通过实测验证，填补了我国在超导CPU领域的空白。为设计和制备64位超导CPU芯片奠定了坚实的基础。