高精度超光滑X射线非球面准直镜中频误差平滑精度数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-12-27 收录
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资源简介：
使用子孔径拼接干涉测量方法测量准直镜中频斜率误差。将准直镜的全部口径范围划分为相互重叠的子孔径区域，采用一维位移台和二维角度台组合调整待测镜的位置和姿态，使用激光干涉仪测量子孔径面形，通过拼接算法获得待测镜的全口径二维形貌以及中频斜率误差。数据集约为60.9MB。
提供机构：
同济大学
