高精度超光滑X射线非球面准直镜中频误差平滑精度数据

使用子孔径拼接干涉测量方法测量准直镜中频斜率误差。将准直镜的全部口径范围划分为相互重叠的子孔径区域，采用一维位移台和二维角度台组合调整待测镜的位置和姿态，使用激光干涉仪测量子孔径面形，通过拼接算法获得待测镜的全口径二维形貌以及中频斜率误差。数据集约为60.9MB。

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背景与挑战

背景概述

该数据集记录了高精度超光滑X射线非球面准直镜的中频误差平滑精度数据，采用子孔径拼接干涉测量方法，通过划分重叠子孔径、组合调整镜面位置与姿态，以及激光干涉仪测量子孔径面形，最终经拼接算法获得全口径二维形貌和中频斜率误差。数据量约为60.9MB。