磁敏传感器弱信号测量性能试验平台构建与样品测试数据集

数据集主要包括ME传感器磁电材料制备和性能测试数据、ME传感器的模型数据、ME传感器性能测试数据、ME传感器悬臂梁应力表征测试数据、磁敏传感器测试平台磁场标定数据、磁敏传感器弱信号测试性能实验平台校准检测数据和高灵敏MEMS磁敏感元件及传感器论文发明专利支撑材料数据。