高掺杂AlN薄膜制备研究数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-05-02 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69f0d991f175603f0685dbc5&type=1
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资源简介：
数据集主要面向高掺杂薄膜功能特性研究、器件设计与工艺验证需求建设，基于第一性原理计算平台与材料表征测试设备产生，主要记录了高掺杂薄膜微观模型、第一性原理计算、薄膜SEM照片、微区元素分析结果以及薄膜XRC数据，数据体量 12.29GB。
提供机构：
华南理工大学
