钻石传感器集成与封装技术研究科技报告
收藏中国科学院中国科学技术大学科学数据中心2026-01-10 收录
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资源简介：
微机电系统（Micro Electro Mechanical System，MEMS）精准加工技术可以实现硅基传感器的微型、批量、低成本制造。钻石作为一种新的电子材料，尽管已经被证明作为量子磁传感器具有超高灵敏度和巨大应用潜力，但其精准加工工艺，如各向异性刻蚀、原子层级别抛光、与硅/玻璃等材料键合等异质集成技术，还处在探索阶段，工艺和设备还未达到标准化的程度。
提供机构：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
创建时间：
2023-05-23
