探测器芯片仿真数据

本课题组提出了一种新型波导型探测器芯片设计方案，该方案将波导型探测器芯片的无源结构和有源结构单独设计。课题组采用Silvaco TCAD和Matlab软件基于泊松方程、载流子迁移率模型等半导体器件模型设计芯片的有源结构，得到工作带宽高达45GHz的芯片有源结构；采用Rsoft软件基于光束传播法设计芯片的无源结构，得到高响应度的芯片无源结构，进一步通过Lumerical软件对有源结构和无源结构进行二次验证并整合优化得到最终的波导型探测器芯片结构。