应变敏感膜层及引线等材料特性及调控数据

本数据集是基于课题一“薄膜应变传感器在减速器上的原位集成工艺、设计制造及可靠性技术”研究内容所产生的应变敏感膜层及引线等材料特性及调控数据，对应指标1.2TCR（电阻温度系数）和1.4敏感结构厚度。本数据集采用多种实验设备进行材料特性测试与表征，输出材料性能测试数据文件。① 根据课题研究目标及研究内容开展应变敏感膜层及引线材料体系研究，在实验室环境下系统测试不同工艺参数下各类敏感膜层的电学、力学特性，获取材料性能数据。② 基于薄膜传感器设计需求，按照提出的应变敏感膜层材料调控方案，开展聚酰亚胺绝缘层、康铜薄膜、PEDOT:PSS/DMSO薄膜、AgNPs/nano-SiO2薄膜及CuNi膜层等关键材料的系统测试，输出材料特性数据，用于后续谐波减速器薄膜应变传感器的设计与制造。数据集内容包括：不同工艺参数下应变敏感膜层材料的电阻特性、沉积速率、微观形貌、电学性能等测试数据。