面向智能化光电集成器件的制备及测试数据集

本数据包含光电集成器件的制备以及实现高可靠性自监测光电集成的测试数据。核心内容包括：1）自监控 LED-PD 光电集成器件制备工艺流程图、外延片内量子效率；2）不同波长的EL光谱参数、光输出功率与外量子效率；3）集成器件的灵敏度、响应度、光暗电流比测试、自监测性能、成器件模组光电流与光输出功率关系图、波导对器件性能影响及仿真等测试数据。数据量大小74.91MB。