МОДИФИКАЦИЯ САПФИРА, ИМПЛАНТИРОВАННОГО Zn И ОТОЖЖЕННОГО В КИСЛОРОДЕ, С ПОМОЩЬЮЮ ОБЛУЧЕНИЯ БЫСТРЫМИ ИОНАМИ Xe

Свойства наночастиц (НЧ) ZnO широко исследуются изза их возможного применения в современных оптоэлектронных устройствах. Известен способ для контроля формы и размера НЧ с помощью облучения быстрыми тяжелыми ионами (ОБТИ). Это воздействие приводит к образованию неупорядоченных областей нанометрового размера в подложке вокруг траектории движения быстрых ионов, что вызывает изменение свойств самой подложки и НЧ в ней. В данной работе мы исследовали модификацию с помощью ОБТИ приповерхностного слоя сапфире, имплантированного Zn и отожженного в кислороде.