聚焦离子束/电子束双束显微镜功能性能测试数据

本数据集是为国家重点研发计划项目验收提供依据，以《聚焦离子束/电子束双束显微镜功能性能测试大纲》为依据，由中国仪器仪表学会分析仪器分会、国家纳米科学中心、中国科学院生物物理研究所、中国航空工业集团北京长城计量测试技术研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司组成测试专家组。使用皮安计、镓液态金属离子源发射测试平台等测试设备测试了聚焦离子束分辨率、离子束最高能量、离子束最大束流、镓液态金属离子源使用寿命、聚焦电子束分辨率、电子束最高能量、电子束最大束流、材料刻蚀/沉积能力、透射电镜样品制备能力、3D结构重构能力、聚焦离子束加工过程电子束实时观察能力，以验证聚焦离子束/电子束双束显微镜的整机功能性能指标是否满足国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项“ 聚焦离子束/ 电子束双束显微镜” 项目任务书和课题一“高分辨率聚焦离子束和电子束显微镜开发与产业化”任务书的研制要求。